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嚴重程度是指某一故障模式發生后對工藝或產品造成危害的嚴重程度，既包括對生產過程的危害，也包括對客戶的危害。

第一類:災難性故障是指會導致系統破壞、公司倒閉、人員死亡等后果的流程故障。比如家用電器在正常使用中起火，大量人員被某飲料公司的飲料毒死。

第二類:致命故障是指會對系統造成嚴重破壞，對人員造成嚴重傷害的工藝故障。

第三類:嚴重故障是指會導致系統故障或輕微損壞、客戶對公司嚴重不滿、公司形象受損、人身傷害的流程故障。

第四類:輕微故障是指不足以造成人身傷害或系統損壞的過程故障。但這種失敗也會降低客戶滿意度，需要及時糾正。比如家用電器噪音大，公司飲料的味道或者顏色有問題。

發生率是指某一故障模式發生的概率，即故障模式發生次數占機會總數的比例。在實際應用中，真概率有時不容易計算，所以根據每個等級的含義來判斷很重要。概率值只是比較錯誤頻率的參考值，不一定是真實的統計概率。為了計算方便，故障模式數占故障總數的比例也可以作為發生率的概率值，或者根據經驗估算。此時概率值只是用來比較失效模式的可能性，其數值沒有絕對意義。

根據美國軍事標準，發病率分為五個等級:

A類:概率大于0.20的頻繁失效模式。

B類:最可能的失效模式，概率為0.1-0.20。

C類:意外失效模式，概率為0.01-0.10。

D級:概率為0.001-0.010的罕見故障模式。

E級:概率小于0.0010的極不可能的故障模式。

危害性矩陣是一個矩陣圖，它結合了嚴重性和發生率兩個因素，以確定每種故障模式的危害程度。

在危害性矩陣圖中，橫坐標表示嚴重程度，坐標刻度為ⅳ至ⅰ；縱坐標表示發生率，坐標刻度從E到a，根據水平坐標和垂直坐標的刻度，在危害性矩陣中將每個失效模式標記為一個坐標點，并將該點與坐標原點連接成一條直線段。該線段的長度(即坐標點到原點的距離)表示故障模式的危害程度。

比較M和N兩種失效模式的危害程度時，只需比較兩個線段的長度即可，長線段危害嚴重，短線段危害較輕。上圖中，失效模式N的危害程度高于失效模式m。

在危害性矩陣圖中標出所有失敗的招式，可以識別出危害最大的失敗招式，從而采取相應的改進和控制措施。